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发明

用于外延沉积的反应器及其加热方法

2023-04-23 09:18:06 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202111146174.5
  • 公开（公告）日：2025-02-28
  • 公开（公告）号：CN113943974A
  • 申请人：洛佩诗公司
摘要：本申请涉及一种用于外延沉积的反应器(1)及其加热方法。反应器(1)包括承受器(2)和感应器(4)；感应器(4)适于在其被通电时通过电磁感应加热承受器(2)；感应器(4)包括多个匝(41‑47)；在承受器(2)从第一温度加热到第二温度期间，感应器(4)的一匝或更多匝(43)相对于承受器(2)和感应器(4)的其他匝的位置改变。匝(43)借助于适当的致动系统(61，62，63)来致动。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113943974 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111146174.5 (51) Int.C l. C30B 25/10 (2006.01) (22)申请日 2017.10.30 C23C 16/46 (2006.01) (30)优先权数据 102016000111143 2016.11.04 IT (62)分案原申请数据 201780067269.3 2017.10.30 (71)申请人 洛佩诗公司 地址 意大利米兰巴兰扎泰 (72)发明人 温森佐 ·奥格里阿里　 西尔维奥 ·佩雷蒂　 弗兰科 ·佩雷蒂　 (74)专利代理机构 北京安信方达知识产权代理 有限公司 11262 代理人 汤慧华　杨明钊 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 用于外延沉积的反应器及其加热方法 (57)摘要 本申请涉及一种用于外延沉积的反应器 (1) 及其加热方法。反应器 (1)包括承受器 (2)和感应 器 (4) ；感应器 (4)适于在其被通电时通过电磁感 应加热承受器 (2) ；感应器 (4)包括多个匝 (41‑ 47) ；在承受器 (2)从第一温度加热到第二

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