具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117783402 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311814821.4 (22)申请日 2023.12.26 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 冯飞　陈泊鑫　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 余明伟 (51)Int.Cl. G01N 30/66 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图10页 (54)发明名称 具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其 制备方法 (57)摘要 本发明提供一种具有片上惠斯通电桥的微 热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电 连接件，用于替代外接引线，减少了外接引线产 生的接触电阻，减少了检测器的噪声干扰，提高 了检测器的信噪比，从而降低了检测器的检测 限，且对外仅提供四个焊盘接口，方便器件的使 用。 A 2 0 4 3 8 7 7 1 1 N C CN 117783402 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种具有片上惠斯通电桥的微热导检测器，其特征在于，所述微热导检测器包括： 基板，所述基板中设置有参考微沟道及测量微沟道； 热敏电阻，所述热敏电阻包括通过支撑结构悬挂于所述测量微沟道