1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 作业/运输
PCT发明

纳米压印压模

2023-06-25 07:08:57 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202180066177.X
  • 公开（公告）日：2023-06-23
  • 公开（公告）号：CN116323475A
  • 申请人：应用材料公司
摘要：一种用于从主模板压模(stamp)制造纳米压印平版印刷术压模的设备，包括经配置成选择性地将压模背衬材料固定到其上的压模夹盘、经配置为支撑主模板压模的主夹盘，主模板压模包括在其上主图案，主夹盘经配置成支撑主模板压模，主模板压模与选择性地固定到压模夹盘上时的压模背衬材料呈面对关系，其中主模板压模包括在主图案上和中的电磁能量可固化材料，且压模夹盘经配置成及经布置成将其上的背衬材料的一部分定位成与其间隔开并与电磁能量可固化材料接触，且压模夹盘进一步经配置成将与能量可固化材料接触的背衬材料的该部分定位成，在能量可固化材料固化后，与压模夹盘接触。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116323475 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180066177.X (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 (22)申请日 2021.06.17 专利代理师 徐金国　吴启超 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 63/059,809 2020.07.31 US B82Y 40/00 (2006.01) 17/034,004 2020.09.28 US (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.03.27 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2021/037807 2021.06.17 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/026073 EN 2022.02.03 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 伊恩 ·马修 ·麦克马克　 卢多维克•戈代　 权利要求书3页 说明书17页 附图16页 (54)发明名称 纳米压印压模 (57)摘要

最新专利

相关专利