一种提高热蒸镀氧化锡电热膜结合性能的工艺方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116463594 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310437803.2 (22)申请日 2023.04.21 (71)申请人 江苏兴泰能源科技有限公司 地址 224001 江苏省盐城市亭湖区瑞鹤路 253号 (72)发明人 宋娟　孙刚　王付华　王晓丹　 (74)专利代理机构 北京创智合源知识产权代理 事务所(普通合伙) 16092 专利代理师 马金华 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种提高热蒸镀氧化锡电热膜结合性能的 工艺方法 (57)摘要 本发明公开了一种提高热蒸镀氧化锡电热 膜结合性能的工艺方法 ，属于薄膜制备技术领 域。此方法的特征是在待蒸镀管的上下两头各加 一个与待蒸镀管直径相同的辅助管，辅助管的长 度与待蒸镀管长度呈一定比例；并采用先高温后 低温的方式蒸镀氧化锡薄膜。本发明利用辅助管 工艺与高‑低温蒸镀工艺并行的方法，显著改善 了热蒸镀氧化锡电热膜的结合性能，保证氧化锡 电热膜在使用过程中的功率稳定性。 A 4 9 5 3 6 4 6 1 1 N C CN 116463594 A 权　利　要　求　书 1/1页