石墨坩埚及化学气相沉积设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117344290 A (43)申请公布日 2024.01.05 (21)申请号 202311484626.X (22)申请日 2023.11.08 (71)申请人 甬江实验室 地址 315201 浙江省宁波市镇海区骆驼街 道慈海南路1792号 (72)发明人 麻鹏达　薛运周　鲁天豪　 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 专利代理师 王烨迪 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 石墨坩埚及化学气相沉积设备 (57)摘要 本申请公开了一种石墨坩埚及化学气相沉 积设备，属于热场坩埚技术领域。石墨坩埚包括 外壳体、内筒和隔板组件，外壳体的上表面设置 有出气部，外壳体的下表面设置有进气部；内筒 设置于外壳体内，内筒与外壳体之间形成夹腔， 且内筒的侧壁贯设有第一导气孔和第二导气孔； 隔板组件安装于夹腔内以将夹腔分隔为进气室 和出气室，进气部通过进气室和第一导气口连 通，出气部通过出气室和第二导气口连通。通过 使气体在石墨坩埚内两次转向流动，保证基件表 面镀膜的均匀性的同时使外壳体的外侧壁尽可 能靠近炉体的内侧壁，从而方便在化学气相沉积 A 设备内布置供气体流入石墨坩埚的管路结构的 0 同时使石墨坩埚的横截面积尽可能大，提高加工 9 2 4 效率和加工效果。 4 3 7 1 1 N C