MEMS电容结构2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220642592 U (45)授权公告日 2024.03.22 (21)申请号 202322316439.2 (22)申请日 2023.08.28 (73)专利权人 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 地址 518000 广东省深圳市福田区梅林街 道梅都社区中康路136号深圳新一代 产业园1栋401 (72)发明人 雷永庆　吴振云　黄寿　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 李仪萍 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)实用新型名称 MEMS电容结构 (57)摘要 本实用新型提供一种MEMS电容结构，包括同 心设置的第一电极和第二电极，第一电极包括第 一电极锚定部以及交汇于第一电极锚定部的至 少一组第一极板；第二电极包括位于第一电极外 围的第二电极锚定部以及自第二电极锚定部延 伸向第一电极锚定部的至少一组第二极板，每组 第二极板包括沿径向排布的多个第二梳齿部，第 一极板与第二极板围绕第一电极锚定部设置成 使第一梳齿部与第二梳齿部插齿排列，第一梳齿 部或第二梳齿部上设置有凸出部，位于第一连接 部或第二连接部两侧的凸出部具有相反的凸出 方向以将温度引起的电容容值变化相互抵消。本 U 实用新型不仅可降低外部应力/冲击的影响，而 2 且可有效降低电