研磨具保持座的控制方法、研磨具保持座、及研磨工具
- 申请专利号:CN202080108192.1
- 公开(公告)日:2025-06-03
- 公开(公告)号:CN116648329A
- 申请人:千贝克科技有限公司|||大明化学工业株式会社
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116648329 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202080108192.1 (51)Int.Cl . B24B 47/20 (2006.01) (22)申请日 2020.12.25 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.25 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/048807 2020.12.25 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/137525 JA 2022.06.30 (71)申请人 千贝克科技有限公司 地址 日本东京 申请人 大明化学工业株式会社 (72)发明人 荫山佳辉 福岛启辅 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 权利要求书3页 说明书17页 附图14页 专利代理师 胡秋瑾 宋俊寅 按照条约第19条修改的权利要求书3页 (54)发明名称 研磨具保持座的控制方法、研磨具保持座、 及研磨工具 (57)摘要 研磨工具(1)的研磨具保持座(4)包括:柄部 (6)、供研磨具 (3)安装的安装部(21)、以及电动 机(35) ,还包括:使安装部(21)沿柄部(6)的轴线 方向 (
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