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PCT发明

基板处理方法和基板处理设备

2023-05-19 11:17:37 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080089711.4
  • 公开（公告）日：2025-02-28
  • 公开（公告）号：CN114901861A
  • 申请人：周星工程股份有限公司
摘要：本发明涉及一种基板处理方法和设备，其被实施使得当气体通过单一供气单元供应到多个室时，不同的气体可以同时供应到多个室，以便提高在多个室中沉积的薄膜厚度的均匀性。根据本发明的基板处理方法和基板处理设备的有益之处在于气体仅供应到一个室以便能够仅在该一个室中执行处理，或者不同的气体同时供应到各个室以便能够在各个室中执行不同的处理，由此在每个处理室中薄膜可以沉积成具有均匀的厚度，并且能提高气体供应效率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114901861 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080089711.4 (74)专利代理机构 北京弘权知识产权代理有限 公司 11363 (22)申请日 2020.12.29 专利代理师 许伟群　李少丹 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2019-0178242 2019.12.30 KR C23C 16/455 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/54 (2006.01) 2022.06.23 C23C 16/52 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/67 (2006.01) PCT/KR2020/019299 2020.12.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/137581 KO 2021.07.08 (71)申请

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