一种压电微机械执行器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113135548 A (43)申请公布日 2021.07.20 (21)申请号 202110423690.1 (22)申请日 2021.04.20 (71)申请人 广州蜂鸟传感科技有限公司 地址 510700 广东省广州市黄埔区科丰路 31号G2栋309/311房 (72)发明人 秦风　李慧　 (74)专利代理机构 成都聚蓉众享知识产权代理 有限公司 51291 代理人 刘艳均 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) H01L 41/09 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种压电微机械执行器 (57)摘要 本发明公开了一种压电微机械执行器，属于 压电微机械技术领域，解决了现有技术中的压电 微机械执行器在工作中输出位移性能受限的问 题，本发明包括基座，所述基座内部连接有对称 的两个驱动台，所述两个驱动台分别连接有两弹 簧梁，两弹簧梁连接有同一位移台，所述位移台 的底面上连接有质量块，位移台与基座相对的两 侧上开设有多个通气槽，所述通气槽相对的基座 上连接有与通气槽数量匹配的调节柱。本发明设 计了质量块/位移台、弹簧梁、驱动台为核心的三 级位移放大机构，提高了压电微机械执行器的输 出性能。 A 8 4 5 5 3 1 3 1 1 N C CN 113135548 A 权　利　要　求