净化气体的控制方法及半导体设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117772706 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202211154979.9 (22)申请日 2022.09.21 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发 区空港工业园兴业大道388号 (72)发明人 修春雨　宛伟　石夏雨　常苏生　 (51)Int.Cl. B08B 5/02 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/673 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图8页 (54)发明名称 净化气体的控制方法及半导体设备 (57)摘要 本公开提供了一种净化气体的控制方法及 半导体设备，净化气体的控制方法包括：获取晶 圆传送盒相对机台的位置信息和/或机台的运行 信息；根据位置信息和/或运行信息，确定运行阶 段；根据运行阶段，控制净化气体的流量。本公开 中，通过获取晶圆传送盒相对机台的位置信息 和/或机台的运行信息，以确定晶圆传送盒的运 行阶段，并根据不同的运行阶段输出不同流量的 净化气体，以使净化气体的流量与运行阶段相适 配，不仅能够改善气体凝析导致半导体产品出现 缺陷的问题，还能够节省净化气体流量，进而节 省生产成本。 A 6 0 7 2 7 7 7 1 1 N C CN 117772706