具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过程2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109721022 A (43)申请公布日 2019.05.07 (21)申请号 201811280031.1 (22)申请日 2018.10.30 (30)优先权数据 102017000124348 2017.10.31 IT (71)申请人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 D 帕奇　M 费雷拉　A 皮科　 · · · (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华 (51)Int.Cl. B81B 7/02(2006.01) B81B 3/00(2006.01) B81C 1/00(2006.01) H01L 41/09(2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图17页 (54)发明名称 具有悬置隔膜的压电MEMS设备及其制造过 程 (57)摘要 本申请的各实施例涉及具有悬置隔膜的压 电MEMS设备及其制造过程。一种MEMS设备，包括： 主体，具有第一表面和第二表面；隔膜腔体，在主 体内并且从主体的第二表面延伸；可变形部分， 在主体内并且在第一表面和隔膜腔体之间；和压 电致动器，在主体在第一表面上延伸并且在可变 形部分之上。MEMS设备的特