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发明

压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法

2023-05-14 09:54:49 发布于四川 12
  • 申请专利号：CN201910587590.5
  • 公开（公告）日：2023-04-28
  • 公开（公告）号：CN110442907A
  • 申请人：浙江中科电声研发中心
摘要：本发明公开了压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法，该方法包括以下几个步骤：1)建立MEMS扬声器仿真几何模型；2)设置物理场和边界条件，它包括在“固体力学”、“电场”、“压力声学，频域”和“热粘性声学，频域”物理场中分别设置材料模型、压电本构关系、阻尼、约束条件、阻抗边界和电压载荷等；3)定义材料参数；4)设置网格类型和尺寸，并划分网格。5)求解计算：分别采用“频域”和“特征频率”研究对该有限元模型进行求解；6)结果后处理：通过后处理得到该压电式MEMS扬声器的声压级频响曲线、声压和声压级分布图、电容值随频率的变化关系、振动部件上应力/应变/位移/速度/加速度的大小和分布图，以及该MEMS扬声器的共振频率和振型。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110442907 A (43)申请公布日 2019.11.12 (21)申请号 201910587590.5 (22)申请日 2019.07.02 (71)申请人 浙江中科电声研发中心 地址 314100 浙江省嘉兴市嘉善县魏塘镇 晋阳东路568号科创中心1号楼1层 (72)发明人 李陆化　徐楚林　温周斌　陆晓　 岳磊　计敏君　 (74)专利代理机构 杭州君度专利代理事务所 (特殊普通合伙) 33240 代理人 沈志良 (51)Int.Cl. G06F 17/50(2006.01) H04R 29/00(2006.01) H04R 19/00(2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图11页 (54)发明名称 压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分 析方法 (57)摘要 本发明公开了压电式MEMS扬声器基本特性 的数值仿真分析方法，该方法包括以下几个步 骤：1)建立MEMS扬声器仿真几何模型；2)设置物 理场和边界条件，它包括在“固体力学”、“电场”、 “压力声学，频域”和“热粘性声学，频域”物理场 中分别设置材料模型、压电本构关系、阻尼、约束 条件、阻抗边界和电压载荷等；3)定义材料参数； 4)设置网格类型和尺寸，并划分网格。5)求解计 算：分别采用“频域”和“特征频率”研

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