制造包括悬在腔之上的膜的器件的方法
- 申请专利号:CN201980084624.7
- 公开(公告)日:2024-12-20
- 公开(公告)号:CN113226978A
- 申请人:索泰克公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113226978 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980084624.7 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 (22)申请日 2019.12.12 代理人 游雷 王小东 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 1873602 2018.12.20 FR B81C 1/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.06.18 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/FR2019/053039 2019.12.12 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/128245 FR 2020.06.25 (71)申请人 索泰克公司 地址 法国伯尔宁 (72)发明人 布鲁诺 ·吉瑟兰 权利要求书2页 说明书8页 附图10页 (54)发明名称 制造包括悬在腔之上的膜的器件的方法 (57)摘要 本发明关注一种制造器件的方法,所述器件 包括在有用腔上延伸的膜