纳米压印装置及纳米压印方法2024

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109656097 A (43)申请公布日 2019.04.19 (21)申请号 201811476309.2 (22)申请日 2018.12.04 (71)申请人 上海安翰医疗技术有限公司 地址 201206 上海市浦东新区自由贸易试 验区金穗路2218号1楼 (72)发明人 童美魁　段晓东　 (74)专利代理机构 上海波拓知识产权代理有限 公司 31264 代理人 李萌 (51)Int.Cl. G03F 7/00(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 纳米压印装置及纳米压印方法 (57)摘要 一种纳米压印装置及纳米压印方法，用于将 纳米压印组件中模板上的纳米图案印制于纳米 压印组件的基片上，纳米压印装置包括密封工作 室，所述密封工作室上开设有吸气孔及进气孔； 真空泵，所述真空泵通过吸气孔与密封工作室相 连通；柔性透明覆盖膜，所述柔性透明覆盖膜盖 设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印 组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使 所述柔性透明覆盖膜与所述密封工作室的底板 之间形成一容置所述纳米压印组件的容置腔。该 纳米压印装置无需使用高压气体和额外的加压 装置，结构简单，操作简便。 A 7 9 0 6 5 6 9 0 1 N C CN 1096560