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发明

一种半导体芯片盒的自动清洁设备和方法2025

2023-10-11 07:12:17 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN202310719177.6
  • 公开（公告）日：2025-06-06
  • 公开（公告）号：CN116833185A
  • 申请人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
摘要：本发明提出了一种半导体芯片盒的自动清洁设备，包括机台、清洁胶带和下压组件，还包括转盘、芯片盒放置架、第一夹具组件、吹扫组件、顶杆组件、吸尘组件、台面相机检验组件、第二夹具组件和回收芯片盒放置架；所述转盘上径向设有多个放置孔，所述芯片盒放置架、第一夹具组件、吹扫组件、吸尘组件、台面相机检验组件、第二夹具组件和回收芯片盒放置架均设置于机台上表面，且围绕转盘依次设置；所述顶杆组件设于转盘下方，且位于吹扫组件和吸尘组件之间的放置孔的正下方，下压组件的正下方；所述顶杆组件顶部设有第一真空吸附孔。本发明的自动清洁设备集合胶带清洁、氮气吹扫、吸尘三重清洁，且配备相机检测清洁程度，无需人工检测，清洁效果好。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116833185 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310719177.6 B07C 5/36 (2006.01) B07C 5/38 (2006.01) (22)申请日 2023.06.16 (71)申请人 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开 发区科技三路99号（自贸区武汉片区） (72)发明人 张威　周露露　王威　 (74)专利代理机构 武汉红观专利代理事务所 (普通合伙) 42247 专利代理师 赵志汝 (51)Int.Cl. B08B 9/28 (2006.01) B08B 9/34 (2006.01) B08B 9/46 (2006.01) B08B 9/20 (2006.01) B07C 5/34 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种半导体芯片盒的自动清洁设备和方法 (57)摘要 本发明提出了一种半导体芯片盒的自动清 洁设备，包括机台、清洁胶带和下压组件，还包括 转盘、芯片盒放置架、第一夹具组件、吹扫组件、 顶杆组件、吸尘组件、台面相机检验组件、第二夹 具组件和回收芯片盒放置架；所述转盘上径向设 有多个放置孔，所述芯片盒放置架、

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