支撑单元、包括支撑单元的基板处理设备以及温度控制方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114554629 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202111396164.7 (22)申请日 2021.11.23 (30)优先权数据 10-2020-0158726 2020.11.24 KR (71)申请人 细美事有限公司 地址 韩国忠清南道 (72)发明人 李忠禹　朴仁奎　张容硕　全盛鍊　 (74)专利代理机构 北京市中伦律师事务所 11410 专利代理师 钟锦舜　张玫 (51)Int.Cl. H05B 1/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图7页 (54)发明名称 支撑单元、包括支撑单元的基板处理设备以 及温度控制方法 (57)摘要 一种支撑单元可以包括：多个加热器，所述 多个加热器以矩阵形式设置在所述支撑单元中 以加热基板；以及电源单元，所述电源单元用于 向所述多个加热器供应电力，其中施加到所述多 个加热器的电流由分别连接到所述矩阵的行和 列的开关控制，并且连接到所述矩阵的所述行的 所述开关包括能够控制施加到所述矩阵的所述 行的电流的第一开关和与所述第一开关并联连 接的第二开关。 A 9 2 6 4 5 5 4 1 1 N C CN 114554629 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种支撑单元，包括： 多个加热器，所述多个加