用于印刷具有变化的占宽比的周期性图案的方法和装置
- 申请专利号:CN202080039223.2
- 公开(公告)日:2024-10-29
- 公开(公告)号:CN113841072A
- 申请人:尤利塔股份公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113841072 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 202080039223.2 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公 司 72001 (22)申请日 2020.03.27 代理人 钟茂建 陈岚 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/824508 2019.03.27 US G02B 5/18 (2006.01) 62/923744 2019.10.21 US G02B 5/32 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G02B 27/00 (2006.01) 2021.11.26 G02B 27/09 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 7/20 (2006.01) PCT/IB2020/052954 2020.03.27