一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116294548 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310198523.0 F26B 25/18 (2006.01) (22)申请日 2023.03.03 (71)申请人 上海至纯洁净系统科技股份有限公 司 地址 200241 上海市闵行区紫海路170号 申请人 江苏启微半导体设备有限公司 (72)发明人 江峰　蒋渊　李盼盼　邓信甫　 卢证凯　 (74)专利代理机构 上海智力专利商标事务所 (普通合伙) 31105 专利代理师 周涛 (51)Int.Cl. F26B 25/02 (2006.01) F26B 25/00 (2006.01) F26B 21/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (54)发明名称 一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥 槽体结构 (57)摘要 本发明涉及到一种优化摆动型马兰格尼干 燥流场的干燥槽体结构，该干燥槽体结构包括主 体槽，为进行液体排放的带有缓坡的漏斗型主体 结构；下沉式槽道，位于主体槽的底部中心，在其 斜坡最低端设有排放孔 ；溢流槽，分别设置于主 体槽的两侧，用以排出溢流的超纯水和异丙醇； 负压腔，设置于溢流槽内，形成负压排风腔体；注 入水管路，设置于下沉式槽道内，其上设有注入 管排放孔。本发明的干燥槽体