一种基于高精度致动器的微纳定位平台2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117334245 A (43)申请公布日 2024.01.02 (21)申请号 202311269281.6 (22)申请日 2023.09.28 (71)申请人 微纳光科（苏州）自动化设备有限公 司 地址 215500 江苏省苏州市常熟市碧溪街 道四海路11号 (72)发明人 王秉稷　王爱玲　刘桐青　吕彦刚　 (74)专利代理机构 北京市恒有知识产权代理事 务所(普通合伙) 11576 专利代理师 赵薇　刘伟冲 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种基于高精度致动器的微纳定位平台 (57)摘要 本申请公开了一种基于高精度致动器的微 纳定位平台，涉及柔性机构技术领域，包括基座、 动平台和三个柔性支链，三个所述柔性支链相互 垂直，且三个柔性支链的一端均固定在基座上， 三个柔性支链的另一端均与动平台固定连接，每 个所述柔性支链均包括主动副、第一被动副和第 二被动副，所述第一被动副和第二被动副结构相 同，所述主动副包括两个固定件，当工作人员清 理装置时用力过大或者装置受外力干扰，通过设 置为凸面相对的弧形的第一柔性簧片可以更好 的提供对第一被动副的支撑，避免第一被动副位 移造成后续定位不精准的问题，并且通过上述设 A 置可以更好的避免三个主动副之间的运动影响， 5 进一步实现平台运动的完全解耦，提高平台定位 4 2