高精度空间平动微定位平台

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109256174 A (43)申请公布日 2019.01.22 (21)申请号 201811323351.0 (22)申请日 2018.11.08 (71)申请人 江南大学 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大 道1800号 (72)发明人 曹毅　王保兴　林苗　李巍　孟刚　 (74)专利代理机构 无锡盛阳专利商标事务所 (普通合伙) 32227 代理人 张宁　张欢 (51)Int.Cl. G12B 5/00(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 (54)发明名称 高精度空间平动微定位平台 (57)摘要 本发明提供了一种高精度空间平动微定位 平台，其能解决现有集中柔度式微定位平台运动 行程小，容易出现应力集中，平台定位精度低的 问题。其包括基座、动平台和三个柔性支链，柔性 支链的柔性移动副包括两组对称布置的柔性簧 片，同组中的两个柔性簧片互相平行，主动副中 同组的两个柔性簧片通过刚性连接件一连接，第 一被动副和第二被动副结构相同，其两组柔性簧 片的一端共同连接在刚性连接件二上，另一端共 同连接在刚性连接件三上；主动副的刚性连接件 一固接在基座上，柔性簧片和压电陶瓷驱动器分 别与第一被动副的刚性连接件二连接；第一被动 A 副的刚性连接件三与第二被动副的刚性连接件 4 二连接，第二被动副的刚性连接