非接触式晶圆台清洗装置、方法及其清洗检验装置、方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116213361 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202111467132.1 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人 成都高真科技有限公司 地址 610000 四川省成都市高新区科新路8 号附19号 (72)发明人 金成昱　梁贤石　 (74)专利代理机构 成都行之专利代理事务所 (普通合伙) 51220 专利代理师 喻英 (51)Int.Cl. B08B 5/02 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) G01D 21/00 (2006.01) G01L 13/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 非接触式晶圆台清洗装置、方法及其清洗检 验装置、方法 (57)摘要 本发明公开了一种非接触式晶圆台清洗装 置、方法及其清洗检验装置、方法，清洗装置位于 晶圆台正上方，清洗装置包括吹气喷嘴 ，以及围 绕吹气喷嘴周向设置的遮挡罩，遮挡罩与吹气喷 嘴在晶圆台上的投影位置位于晶圆在晶圆台上 的投影位置内。本发明采用非接触方式来对晶圆 台进行清洗，避免了对晶圆台的磨耗；清洗之后， 无需要采用裸晶圆进行验证，采用本发明方案可 以立即晶圆台进行清洁度的确认。 A 1 6 3 3 1 2 6 1 1