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PCT发明

二自由度的致动器和MEMS装置

2023-06-02 13:09:27 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201880093321.7
  • 公开（公告）日：2024-10-11
  • 公开（公告）号：CN112533861A
  • 申请人：华为技术有限公司|||德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及微机电系统MEMS装置。特别地，本发明提出了一种用于MEMS装置的致动器和包括这种致动器的MEMS装置。该致动器具有可连接到该MEMS装置的框架的多个边侧的第一端，并且具有，特别地，通过接头，可连接到该MEMS装置的台架的第二端。此外，该致动器的第二端被配置为当该致动器被驱动并且该第一端被连接时向上或向下弯曲。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112533861 A (43)申请公布日 2021.03.19 (21)申请号 201880093321.7 (74)专利代理机构 北京龙双利达知识产权代理 有限公司 11329 (22)申请日 2018.06.26 代理人 钞朝燕　王君 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl. 2020.11.17 B81B 3/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2018/067077 2018.06.26 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/001744 EN 2020.01.02 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 518129 广东省深圳市龙岗区坂田华 为总部办公楼 申请人 德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会 (72)发明人 顾姗姗　陆发斌　梁吉德　 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 二自由度的致动器和MEMS装置 (57)摘要 本发明涉及微机电系统MEMS装置。特别地， 本发明提

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