一种压电式柔性MEMS超声换能器及制备工艺2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117900111 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410262773.0 (22)申请日 2024.03.07 (71)申请人 西安交通大学 地址 710049 陕西省西安市碑林区咸宁西 路28号 (72)发明人 李支康　雒瑞炎　袁佳炜　秦和烽　 谭鸿强　赵一鹤　袁铮　王小章　 赵立波　赵子龙　马琦　张世旺　 李嘉柱　李梓璇　李杰　秦韶辉　 石璇　王彤　 (74)专利代理机构 西安通大专利代理有限责任 公司 61200 专利代理师 张宇鸽 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种压电式柔性MEMS超声换能器及制备工 艺 (57)摘要 本发明公开了一种压电式柔性MEMS超声换 能器及制备工艺，其工艺步骤均采用标准的MEMS 工艺进行制造。换能器的外包裹为柔性材料，电 极材料均为柔性材料。本发明利用其制造按照 MEMS工艺来保证制造中的高效率、大批量生产； 利用柔性材料的包裹保证器件整体的柔性；利用 柔性电极及蛇形电路保证其具有弯曲、扭转、拉 伸等柔性功能；利用具体的制造标准保证制造中 的高一致性。 A 1 1 1 0 0 9 7 1 1 N C CN 117900111