一种振幅型计算全息图实现装置及方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117289563 A (43)申请公布日 2023.12.26 (21)申请号 202311592943.3 (22)申请日 2023.11.27 (71)申请人 浙江大学杭州国际科创中心 地址 311200 浙江省杭州市萧山区经济技 术开发区建设三路733号 (72)发明人 卞殷旭　潘杭凯　匡翠方　卢俊一　 孙伯文　刘旭　李海峰　 (74)专利代理机构 杭州天勤知识产权代理有限 公司 33224 专利代理师 沈金龙 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种振幅型计算全息图实现装置及方法 (57)摘要 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现 装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激 光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积 振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精 度的不足，对比电子束直写有着更高的效率，有 着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在 刻写中实时进行光功率与相位调制补偿，保证了 刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时 间工作的稳定性与刻写精度。 A 3 6 5 9 8 2 7 1 1 N C CN 117289563 A 权　利　要　求　书 1/2 页 1.一种振幅型计算全息图实现装置，