微结构制备装置及方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111717886 A (43)申请公布日 2020.09.29 (21)申请号 202010624051.7 (22)申请日 2020.06.30 (71)申请人 香港中文大学(深圳） 地址 518100 广东省深圳市龙岗区龙城街 道龙翔大道2001号 申请人 深圳市人工智能与机器人研究院 (72)发明人 林胜钊　张家铭　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 代理人 蒋姗 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G09F 9/30 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 微结构制备装置及方法 (57)摘要 本申请提供一种微结构制备装置及方法，涉 及微结构阵列制作工艺技术领域。所述方法包 括：所述装置包括压强控制器、密封容器、第一网 格和固化器，所述第一网格和所述固化器设置在 所述密封容器内，所述压强控制器与所述密封容 器连通；所述第一网格用于使溶液基于液体特性 从所述第一网格的网孔中悬垂；所述压强控制器 用于调节所述密封容器中的压强，以基于所述压 强和所述液体特性调整所述溶液的悬垂状态；所 述固化器用于在所述网孔上的溶液的悬垂状态 构成指定微结构阵列形貌时对所述溶液进行固 化，以获得具有指定微结构的柔性衬底。上述装 A 置及方法制备的微结构阵列规则有序可控，且一 6 次成型、工艺简