一种数字曝光设备和曝光方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114442436 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202011195247.5 (22)申请日 2020.10.30 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 冯京　栾兴龙　王志冲　刘鹏　 袁广才　 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 胡影　顾春天 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 一种数字曝光设备和曝光方法 (57)摘要 本发明提供一种数字曝光设备和曝光方法。 数字曝光设备包括透镜阵列，透镜阵列至少包括 第一透镜单元和第二透镜单元，光线转置组件设 置于第二透镜单元的出射光路上，光线转置组件 用于控制第二透镜单元出射的光线关于数字曝 光设备的曝光方向转置，当利用该数字曝光设备 进行曝光时，需要利用通过第一透镜单元和透过 第二透镜单元的光线对于同一位置进行多次曝 光，由于通过第一透镜单元的光线和透过第二透 镜单元关于数字曝光设备的曝光方向转置，所以 即使光源发出的光线是不均匀的，由于第一透镜 单元，光线经过转置之后，在对于同一位置进行 A 曝光时的不均匀程度会被抵消，从而提高了数字 6 曝光设备的曝光结果均匀性，有助于提高曝光效 3 4 2 果。 4 4 4 1 1 N C CN 1