高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114084870 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111553884.X (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人 西北电子装备技术研究所（中国电 子科技集团公司第二研究所） 地址 030024 山西省太原市万柏林区和平 南路115号 (72)发明人 李安华　杨晓东　王成君　薛志平　 范旭利　武春晖　 (74)专利代理机构 山西华炬律师事务所 14106 代理人 陈奇 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机 构 (57)摘要 本发明公开了一种高真空状态下薄壳器件 盖板组合式拾取机构，解决了如何完成薄壳器件 盖板在真空环境下精确拾取并保证盖板在放下 过程中不会受冲击力而发生变形的问题。在直线 电机的向下输出轴上连接一个浮动的薄壳类盖 板的拾取模具，通过直线电机向下输出轴的轴端 与轴端套筒的浮动配合，克服拾取模具与被拾取 的薄壳类盖板之间的接触冲击力，并在浮动的拾 取模具与直线电机的密封腔体下端设置波纹管 管套，实现对接触冲击力的二次吸收；另外，在拾 取模具与直线电机的密封腔体之间设置方形愣 A 柱导向杆，起到了有效防止拾取模具在拾取薄壳 0 类盖板时发生转动现象的发生，从而大大提高了 7 8 4 拾取的定位准确率，为后续工艺进行奠定了