一种双压电薄膜压电超声换能器及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117861984 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202311860373.1 (22)申请日 2023.12.31 (71)申请人 上海大学 地址 200444 上海市宝山区上大路99号 (72)发明人 邓光政　张嵩松　吕昊宸　 (74)专利代理机构 上海恒慧知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 31317 专利代理师 张宁展 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种双压电薄膜压电超声换能器及其制备 方法 (57)摘要 一种双压电薄膜压电超声换能器，包括自下 而上依次层叠的衬底、种子层、底部电极层、顶部 电极层、绝缘层和引线层，所述衬底自下而上包 括底硅层、埋氧层和结构硅层，该衬底的中心开 设有空腔，该空腔由所述底硅层截止到埋氧层， 并在所述结构硅层呈圆弧状；在所述底部电极层 和顶部电极层之间自下而上设有第一压电层和 第二压电层，所述第一压电层可确保第二压电层 生长的高c轴取向，从而使在相同激励电压下，双 层压电层具备更高动态振幅。本发明结合利用应 力优化器件性能的方法，有效提升了器件的动态 A 振幅，且具有双层压电薄膜，在同电压激励下其 4 压电响应大于单层压电薄膜的器件，通过在工艺 8 9 1 过程中调节薄膜应力优化机电耦合系数。 6 8 7 1 1 N C CN 117861984 A