用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113215526 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110080515.7 (22)申请日 2021.01.21 (30)优先权数据 10-2020-0007795 2020.01.21 KR (71)申请人 LG伊诺特有限公司 地址 韩国首尔 (72)发明人 金南昊　 (74)专利代理机构 北京鸿元知识产权代理有限 公司 11327 代理人 姜虎　陈英俊 (51)Int.Cl. C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/24 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图5页 (54)发明名称 用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩 模 (57)摘要 本发明涉及用于OLED像素蒸镀的金属材料 的蒸镀用掩模，其包括蒸镀区域及非蒸镀区域， 所述蒸镀区域包括沿所述蒸镀用掩模的长度方 向彼此隔开的多个有效部及非有效部，所述有效 部包括：多个通孔，包括形成在一表面上的多个 小表面孔、形成在与所述一表面相反的另一表面 上且与所述小表面孔连通的多个大表面孔、连接 所述小表面孔和所述大表面孔的分界的连通部； 及第一凹部，形成在所述一表面上的多个所述小 表面孔之间，且开口面积大于所述小表面孔开口 面积的30％，多个所述有效部内的第一凹部为5 A 个以下。 6 2 5 5 1 2 3 1 1