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PCT发明

具有非对称电热丝结构的基座加热器块

2023-06-25 07:09:34 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202180069006.2
  • 公开（公告）日：2025-05-30
  • 公开（公告）号：CN116324029A
  • 申请人：马卡罗有限公司
摘要：本发明提供一种用于化学气相沉积机的基座加热器块，其特征在于，表面设置有真空施加结构以通过真空吸附固定晶圆，具有用于向晶圆背面供应温度均匀化用气体的供气孔和用于加热晶圆的电热丝，所述电热丝的设置成在相当于晶圆中心部的加热器块的中心部大于其外侧的周围部。其中，为了便于设置，电热丝的布置可以采用耳蜗状等非对称式，而不是左右对称式，在非对称式的情况下，可以设置成弹筒式加热器。根据本发明，当晶圆或基板放置于基座加热器块并执行化学气相沉积工艺时，对基板背面施加低压，如3托以下的低压而真空吸附力增加时，通过在相当于晶圆中容易成为低温的位置的加热器块的中心部以大于周围部的设置密度设置加热器，能够在沉积工艺过程中整个晶圆的温度偏差与现有技术相比减少，能够提高晶圆上沉积的膜的厚度均匀度和均质性。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116324029 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202180069006.2 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 (22)申请日 2021.10.07 专利代理师 史炜炜 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 10-2020-0130198 2020.10.08 KR C23C 16/46 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.04.07 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/KR2021/013743 2021.10.07 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/075759 KO 2022.04.14 (71)申请人 马卡罗有限公司 地址 韩国京畿道平泽市产团路103-14 (72)发明人 李俊皞　崔东铁　安世赫　洪明基　 朴珍万　 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 (54)发明名称 具有非对称电热丝结构的基座加热器块 (57)

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