纳米探针的修复方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115849299 A (43)申请公布日 2023.03.28 (21)申请号 202310196386.7 (22)申请日 2023.03.03 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230601 安徽省合肥市经济技术开发 区空港工业园兴业大道388号 (72)发明人 徐高峰　陈声宇　刘明德　胡子强　 董楠　陈家宝　 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 周修文 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) G01R 1/067 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图14页 (54)发明名称 纳米探针的修复方法 (57)摘要 本公开涉及一种纳米探针的修复方法，纳米 探针的修复方法包括如下步骤：将待进行修复的 纳米探针的载体固定放置在支撑台上；使纳米探 针的针体与聚焦离子束的发射方向平行；采用第 一工艺参数的聚焦离子束对纳米探针进行修复 处理，以将旧针尖去除；采用第二工艺参数的聚 焦离子束对去除旧针尖后的纳米探针的针体进 行修复处理，以在针体上得到针尖半成品；采用 第三工艺参数的聚焦离子束对针尖半成品进行 修复处理，使针尖半成品的尺寸参数符合预设要 求的新针尖。上述的纳米探针的修复方法，能够 对损坏的纳米探针进行修复，节省能源，以及降 A 低了成本。 9