具有弹性元件和梳状驱动部的MEMS装置以及对应的制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113735054 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110577799.0 (22)申请日 2021.05.26 (30)优先权数据 102020114347.8 2020.05.28 DE (71)申请人 英飞凌科技股份有限公司 地址 德国诺伊比贝尔格 (72)发明人 S ·G ·阿尔伯特　M ·奥尔德森　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 黄倩 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图8页 (54)发明名称 具有弹性元件和梳状驱动部的MEMS装置以 及对应的制造方法 (57)摘要 本公开的各实施例涉及具有弹性元件和梳 状驱动部的MEMS装置以及对应的制造方法。一种 用于制造MEMS装置的方法包括：产生第一半导体 层，以及在第一半导体层上方选择性地沉积第二 半导体层，其中第二半导体层包括由单晶半导体 材料制成的第一部分和由多晶半导体材料制成 的第二部分。此外，该方法还包括：将半导体层中 的至少一个半导体层结构化，其中第一部分的单 晶半导体材料和第一半导体层的位于第一部分 下方的材料形成MEMS装置的弹性元件，并且第二 部分的多晶半导体材料和第一半导体层的位于 A 第二部分下方的材料形成MEMS装置的