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PCT发明

反射镜器件的制造方法

2023-08-25 07:22:31 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202180086100.9
  • 公开（公告）日：2023-08-22
  • 公开（公告）号：CN116635325A
  • 申请人：浜松光子学株式会社
摘要：本发明提供一种反射镜器件的制造方法。该反射镜器件的制造方法是具备包括支撑部、可动部和连结部的结构体、以及设置于可动部上的反射镜层的反射镜器件的制造方法。反射镜器件的制造方法包括：第1形成工序，在晶圆(wafer)上形成各自对应于结构体的多个部分；第2形成工序，在多个部分的各个中的对应于可动部的部分上形成反射镜层；加热工序，在第1形成工序和第2形成工序之后，对多个部分的各个中的对应于可动部的部分进行加热；以及切断工序，在加热工序之后，以将多个部分彼此分离的方式切断晶圆。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116635325 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202180086100.9 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限 公司 11322 (22)申请日 2021.09.15 专利代理师 杨琦　丁哲音 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 2020-211201 2020.12.21 JP B81C 1/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.20 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2021/033949 2021.09.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/137674 JA 2022.06.30 (71)申请人 浜松光子学株式会社 地址 日本静冈县 (72)发明人 井出智行　铃木大几　高桥干人　 权利要求书2页 说明书13页 附图11页 (54)发明名称 反射镜器件的制造方法 (57)摘要 本发明提供一种反射镜器件的制造方法。该 反射镜

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