一种基于电场驱动下的薄膜的剥离方法及应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116119606 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310134434.X (22)申请日 2023.02.10 (71)申请人 中国科学院力学研究所 地址 100190 北京市海淀区北四环西路15 号 (72)发明人 赵亚溥　李培柳　黄先富　 (74)专利代理机构 北京和信华成知识产权代理 事务所(普通合伙) 11390 专利代理师 胡剑辉 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种基于电场驱动下的薄膜的剥离方法及 应用 (57)摘要 本发明实施例公开了一种基于电场驱动下 的薄膜的剥离方法，包括 ：在黏附于导电基底的 薄膜的至少部分受限边界条件处滴加电解质溶 液；将电解质溶液与电源的第一电极电性连接， 导电基底与电源的第二电极连接，通过第一电极 与第二电极施加外加电场，电解质溶液在外加电 场的作用下沿薄膜的受限边界铺展；电解质溶液 侵入薄膜与导电基底的界面结合层，将薄膜从导 电基底上的抬升与剥离。本发明基于电场操控液 体的动态特性，通过电场力克服薄膜张力及界面 结合力，从而使得电解质溶液能够侵入薄膜和导 A 电基底的界面结合层中 ，对薄膜进行抬升并剥 6 离。该方法不受预留空白区的局限 ，且能有效并 0 6 9 完全地实现对黏附的薄膜的完全剥离。