1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
发明

硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方法

2023-06-27 09:50:13 发布于四川 5
  • 申请专利号：CN202310348614.8
  • 公开（公告）日：2023-06-23
  • 公开（公告）号：CN116282962A
  • 申请人：安徽光智科技有限公司
摘要：一种硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方法包括步骤：S1，将作为镜片的硫系玻璃基底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理；S2，将镜片放入工装夹具，工装夹具挂入真空镀膜机；S3，真空镀膜机启动抽真空，离子源进行清洗；S4，维持前述真空度，在镜片的对应面蒸镀第一Ge膜层；S5，蒸镀第一ZnS膜层；S6，蒸镀第二Ge膜层；S7，蒸镀第二ZnS膜层；S8，蒸镀第三Ge膜层；蒸镀第三ZnS膜层；S10，蒸镀YbF3膜层；S11，蒸镀第四ZnS膜层；S12，取出对应面镀制好的镜片；S13，重复步骤S1至步骤S12，在镜片的相反的另一面依次蒸镀第一Ge膜层、第一ZnS膜层、第二Ge膜层、第二ZnS膜层、第三Ge膜层、第三ZnS膜层、YbF3膜层以及第四ZnS膜层。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116282962 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310348614.8 (22)申请日 2023.04.04 (71)申请人 安徽光智科技有限公司 地址 239004 安徽省滁州市琅琊经济开发 区南京路100号 (72)发明人 梁献波　刘梦佳　尹士平　 (74)专利代理机构 北京五洲洋和知识产权代理 事务所(普通合伙) 11387 专利代理师 张向琨 (51)Int.Cl. C03C 17/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制备方 法 (57)摘要 一种硫系玻璃基底上镀制增透膜膜系的制 备方法包括步骤：S1，将作为镜片的硫系玻璃基 底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理 ；S2，将 镜片放入工装夹具，工装夹具挂入真空镀膜机； S3 ，真空镀膜机启动抽真空，离子源进行清洗 ； S4，维持前述真空度，在镜片的对应面蒸镀第一 Ge膜层；S5，蒸镀第一ZnS膜层；S6，蒸镀第二Ge膜 层；S7，蒸镀第二ZnS膜层；S8，蒸镀第三Ge膜层； 蒸镀第三ZnS膜层；S10，蒸镀YbF 膜层；S11，蒸镀 3 第四ZnS膜层 ；S12，取出对应面镀制好的镜片 ； S13，重复步骤S1至步骤S12，在镜片的相反的另 A 一面依次蒸镀第一Ge膜层、第一ZnS膜层、第二Ge 2 膜层

最新专利

相关专利