一种具有光滑表面和高损伤阈值熔石英元件的加工方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116750980 A (43)申请公布日 2023.09.15 (21)申请号 202310843212.5 (22)申请日 2023.07.10 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究 所 地址 201800 上海市嘉定区清河路390号 (72)发明人 陈军　程鑫　王林　顿爱欢　 徐学科　邵建达　 (74)专利代理机构 上海恒慧知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 31317 专利代理师 张宁展 (51)Int.Cl. C03C 23/00 (2006.01) C03B 20/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种具有光滑表面和高损伤阈值熔石英元 件的加工方法 (57)摘要 一种具有光滑表面和高损伤阈值熔石英元 件的加工方法，包括：对熔石英坯料的切割、铣磨 成型、等离子体深刻蚀、等离子体浅刻蚀和离子 束抛光进行后处理抛光。本发明全工艺加工过程 采用非接触式加工，基于非接触式的等离子体刻 蚀和离子束抛光处理工艺，直接对精密铣磨后的 熔石英坯料进行组合加工，获得具有光滑表面和 高损伤阈值的熔石英元件。 A 0 8 9 0 5 7 6 1 1 N C CN 116750980 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一