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PCT发明

基于酚醛清漆/DNQ的化学增幅型光致抗蚀剂

2023-05-24 13:13:34 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980034950.7
  • 公开（公告）日：2024-09-13
  • 公开（公告）号：CN112166378A
  • 申请人：默克专利股份有限公司
摘要：本发明涉及抗蚀剂组合物，其包含聚合物组分、光致产酸剂组分(PAG)、光活性邻叠氮萘醌组分(PAC)、碱组分、溶剂组分和任选的杂环硫醇组分。所述聚合物组分是酚醛清漆衍生物，其包含具有游离酚羟基部分的酚醛清漆重复单元，和包含用酸可裂解的缩醛部分保护的酚羟基部分的酚醛清漆重复单元。所述缩醛部分选自单官能烷基缩醛部分，其保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；包含二官能缩醛的部分，其连接和保护两个含有酚醛清漆酚羟基部分的重复单元，在所述聚合物组分中在两个不同的聚合物链之间形成连接点；以及任何这三种类型的酸可裂解的缩醛部分的混合物。PAC组分选自所述缩醛，其包含用PAC部分官能化的部分，用来保护包含酚醛清漆酚羟基部分的重复单元；游离PAC组分和这两种类型的PAC组分的混合物。本发明还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使用本发明组合物的方法。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112166378 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 201980034950.7 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 (22)申请日 2019.05.22 代理人 陈晰 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/675,939 2018.05.24 US G03F 7/022 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/023 (2006.01) 2020.11.24 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/063216 2019.05.22 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/224248 EN 2019.11.28 (71)申请人 默克专利股份有限公司 地址 德国达姆施塔特 (72)发明人 M ·A ·托克西　刘卫宏　T ·工藤　 H-Y ·陈　J ·殷　

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