一种金属掩膜版框架固定支架

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731760 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011541232.X (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 江苏高光半导体材料有限公司 地址 212400 江苏省镇江市句容经济开发 区容宁创业园2# (72)发明人 钱超　杨波　 (74)专利代理机构 南京行高知识产权代理有限 公司 32404 代理人 肖念 (51)Int.Cl. G03F 1/68 (2012.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种金属掩膜版框架固定支架 (57)摘要 本发明属于金属掩膜版技术领域，尤其是涉 及一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座，底 座的边缘设有向外延伸的裙边，底座的中心处设 有方形的卡槽，卡槽的两侧内壁中均设有与之同 形状的回型腔，回型腔内设有卡紧机构，卡紧机 构贯穿卡槽的两侧内壁并延伸至其中，卡槽的底 部设有悬浮机构，底座内还设有鼓风机构，鼓风 机构设置于卡槽的中心处，鼓风机构与卡紧机构 及悬浮机构均连通设置。优点在于：本发明可较 为方便快捷的对金属掩膜版框架进行固定作用， 增加其在后续的加工时的稳定性，同时防止外物 的干扰，对加工的杂物可进行一定程度上的控 A 制，具有更高的加工效率和质量。 0 6 7 1 3 7 2 1 1 N C CN 112731760 A 权　利　要　求　书