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PCT发明

用于基于可制造性确定图案形成装置图案的方法

2023-06-15 07:14:05 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN201980078606.8
  • 公开（公告）日：2024-08-16
  • 公开（公告）号：CN113168085A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文描述了一种用于确定图案形成装置图案的方法。所述方法包括：获得(i)具有至少一个特征的初始图案形成装置图案，以及(ii)所述至少一个特征的期望特征尺寸；基于图案化过程模型、所述初始图案化设备图案形成装置图案和针对衬底的目标图案，获得由所述初始图案形成装置得到的所述衬底图像的预测图案与针对所述衬底的所述目标图案之间的差异值；确定与所述至少一个特征的所述可制造性相关的惩罚值，其中所述惩罚值根据所述至少一个特征的所述尺寸变化；以及基于所述初始图案形成装置图案和所述期望特征尺寸来确定所述图案形成装置图案，使得所述差异值和所述惩罚值的总和被减小。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113168085 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980078606.8 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2019.10.29 代理人 胡良均 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/773,475 2018.11.30 US G03F 1/36 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2021.05.28 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/079562 2019.10.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/108902 EN 2020.06.04 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 R ·比斯瓦斯　拉斐尔 ·C ·豪厄尔　 张翠平　贾宁宁　刘晶晶　张权　

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