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PCT发明

用于物体表面的3D测量的共焦测量设备

2022-10-24 10:20:58 发布于四川 5
  • 申请专利号：CN202080092252.5
  • 公开（公告）日：2025-10-10
  • 公开（公告）号：CN114945800A
  • 申请人：肯普滕应用技术大学公法人机构
摘要：本发明涉及一种用于物体表面(2)的3D测量的共焦测量设备(1)。该测量设备(1)具有用于测量光(5、5A、5B)的光源(4)、包括多个阵列透镜(13)的透镜阵列(12)、彩色望远镜(14)、多路复用器光学器件(11)、准直光学器件(8)和空间分辨的检测装置(24)。彩色望远镜(14)将物平面(16)成像到透镜阵列(12)的布置平面(15)中。在来自物平面(16)的测量光(5)的光路中，多路复用器光学器件(11)布置在透镜阵列(12)之后且距其距离为阵列透镜(13)的焦距(fAL)与多路复用器光学器件(11)的焦距(fMO)之和。在测量光(5)的光路中，单个孔径光阑(10)布置在多路复用器光学器件(11)之后且距其距离为多路复用器光学器件(11)的焦距(fMO)。在来自物平面(16)的测量光(5)的光路中，准直光学器件(8)后置于孔径光阑(10)。在来自物平面(16)的测量光(5、5A、5B)的光路中，检测装置(24)后置于准直光学器件(8)。产生一种在高的测量吞吐量的同时其结构得到简化的共焦测量设备。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114945800 A (43)申请公布日 2022.08.26 (21)申请号 202080092252.5 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 (22)申请日 2020.12.30 专利代理师 金林辉　吴鹏 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102020200214.2 2020.01.09 DE G01B 11/24 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.07.06 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/088020 2020.12.30 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/140052 DE 2021.07.15 (71)申请人 肯普滕应用技术大学公法人机构 地址 德国肯普滕 (72)发明人 K ·普拉斯　M ·莱　 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 时其结构得到简化的共焦测量设备。 用于物体表面的3D测量

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