飞秒激光加工纳米泡结构的参数筛选方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117139828 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311216195.9 (22)申请日 2023.09.19 (71)申请人 长沙麓邦光电科技有限公司 地址 410206 湖南省长沙市高新开发区岳 麓西大道2450号环创园A-6区N单元6 层602 (72)发明人 程文治　代林茂　张兆兴　李晓春　 (51)Int.Cl. B23K 26/064 (2014.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 飞秒激光加工纳米泡结构的参数筛选方法 (57)摘要 本发明涉及光学技术中的飞秒微加工领域， 公开一种飞秒激光加工纳米泡结构的参数筛选 方法，以确保纳米泡加工结构的可靠性。方法包 括：在第一偏振方向，通过部署相应的光路系统 筛选出纳米泡的参数组合，该参数组合包括：光 斑大小、线距大小、重复频率、单脉冲能量、峰值 功率密度、脉冲密度及脉冲宽度；然后在当第一 偏振方向逐一变更为其它偏振方向，再保持在第 一偏振方向所确定的目标波长和延迟量最大的 参数组合中的线距大小、光斑大小、重复频率、峰 值功率密度和脉冲宽度不变，通过调整脉冲密度 和/或单脉冲能量的方式筛选出同一光路系统对 A 应其他偏振方向单层纳米泡的参数组合。 8 2 8 9 3 1 7 1 1 N C CN 117139828 A 权　利　要　求　书