光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112506002 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202010944925.7 H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/033 (2006.01) (22)申请日 2020.09.10 (30)优先权数据 2019-167130 2019.09.13 JP (71)申请人 HOYA株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 山口昇　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 代理人 王博　褚瑶杨 (51)Int.Cl. G03F 1/38 (2012.01) G03F 1/50 (2012.01) G03F 1/58 (2012.01) G03F 1/66 (2012.01) 权利要求书3页 说明书14页 附图10页 (54)发明名称 光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制 造方法 (57)摘要 本发明的课题在于提供光掩模、光掩模的制 造方法和显示装置的制造方法，该光掩模能够在 被转印体上形成具有优异的竖立的轮廓的抗蚀 剂图案。一种光掩模，其在透明基板上具备包含 透光部、遮光部和半透光部的转印用图案，其中， 透光部是透明基板露出而成的，半透光部是在透 明