激光直写装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117666296 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202410055492.8 (22)申请日 2024.01.15 (71)申请人 中国科学技术大学 地址 230026 安徽省合肥市包河区金寨路 96号 (72)发明人 夏慷蔚　张瀚宇　苏佳　杜江峰　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 专利代理师 孙蕾 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 (54)发明名称 激光直写装置 (57)摘要 本公开提供了一种激光直写装置，包括：激 光产生装置、探测单元、直写单元、三维移动台以 及控制器。激光产生装置适用于产生第一激光束 和第二激光束，第二激光束适用于扫描样品使得 样品发出激发光束。探测单元包括探测器，探测 器适用于获得样品不同位置处的激发光束光强， 并基于经频域滤波及空间滤波的激发光束获得 表征所述样品的表面形貌信息的图像。直写单元 包括显微镜镜头，显微镜镜头适用于将第一激光 束和第二激光束汇聚到样品表面；控制器根据激 发光束的光强以及样品的表面形貌信息，通过调 节三维移动台的位置使得显微镜镜头聚焦到样 A 品的发光中心，使得直写单元利用第一激光束对 6 涂覆有光刻胶的样品进行曝光。 9 2 6 6 6 7 1 1 N C CN 117666296 A 权