一种鲁棒性强的高Q值等离激元共振超表面器件2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117289374 A (43)申请公布日 2023.12.26 (21)申请号 202311291930.2 (22)申请日 2023.10.08 (71)申请人 华南师范大学 地址 510631 广东省广州市天河区中山大 道西55号 (72)发明人 张凤春　朱凝　陈心满　李述体　 (74)专利代理机构 北京清控智云知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 11919 专利代理师 仵乐娟 (51)Int.Cl. G02B 5/00 (2006.01) G02B 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种鲁棒性强的高Q值等离激元共振超表面 器件 (57)摘要 本发明涉及一种鲁棒性强的高Q值等离激元 共振超表面器件，该器件自下而上包括衬底层、 周期性阵列排布与衬底上的“超分子”单元，和布 置与衬底及“超分子”单元上的表面金属层；“超 分子”单元包括两根相距一定间隔布置的立柱和 布置于两根立柱之间的横杆；横杆的长度方向与 立柱的布置方向相同，且长度与两根立柱之间的 距离相等；两根立柱半径不同，呈现非对称配置； 本发明的超表面器件相比调控单侧高度的超表 面器件具有Q值更高且Q值对结构变化相对不敏 感特征，能有效抑制器件加工时引入误差导致器 A 件Q值急剧下降的缺点，极大地提升了器件的实 4 用性。 7 3 9 8 2 7