一种在线式快速抽真空的真空等离子机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113118139 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 202110410502.1 (22)申请日 2021.04.16 (71)申请人 中山市普雷斯等离子科技有限公司 地址 528400 广东省中山市火炬开发区建 业路32号B区厂房二层之三 (72)发明人 林小兰　甘华烽　谢东华　 (51)Int.Cl. B08B 7/00 (2006.01) B08B 13/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 一种在线式快速抽真空的真空等离子机 (57)摘要 本发明涉及等离子机结构技术领域，尤其公 开了一种在线式快速抽真空的真空等离子机；包 括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设 有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等 离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所 述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空 止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述 负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路 管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过 所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二 支路管连通；所述真空等离子机还包括移动台， 所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置 A 有工件台；本发明的真空等离子机可极大缩减抽 9 真空时长，极大提高工作效率。 3 1 8 1 1 3 1 1 N C CN 113118139 A 权　利　要　求　书