单晶衬底和微机械结构的加工方法2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107867673 A (43)申请公布日 2018.04.03 (21)申请号 201710890273.1 (22)申请日 2017.09.27 (30)优先权数据 102016118268.0 2016.09.27 DE (71)申请人 英飞凌科技股份有限公司 地址 德国诺伊比贝尔格 (72)发明人 A 布罗克迈尔　R 拉普　 · · F J 桑托斯罗德里奎兹　 · · (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 郑立柱 (51)Int.Cl. B81C 1/00(2006.01) B81B 3/00(2006.01) 权利要求书3页 说明书26页 附图24页 (54)发明名称 单晶衬底和微机械结构的加工方法 (57)摘要 根据各种实施例，加工单晶衬底(102)的方 法可以包括：沿着主处理侧将衬底(102)分割 (100b)成至少两个单晶衬底子块(102a，102b)； 以及形成(100c)包括所述至少两个衬底子块 (102a，102b)的单晶衬底子块的微机械结构 (106)。 A 3 7 6 7 6 8 7 0 1 N C CN 107867673 A