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实用新型

MEMS设备2024

2024-04-16 07:35:12 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202321798138.1
  • 公开（公告）日：2024-04-12
  • 公开（公告）号：CN220766509U
  • 申请人：意法半导体股份有限公司
摘要：本公开的实施例涉及MEMS设备。MEMS设备包括：半导体主体，限定主腔，并且形成锚固结构；以及第一可变形结构，沿第一轴具有彼此相对的第一端和第二端，第一可变形结构经由第一端而被固定到锚固结构，以被悬置在主腔之上。第二端被配置为相对于锚固结构，沿第二轴振荡。第一可变形结构包括具有第一外表面和第二外表面的主体，以及在第一外表面之上延伸的压电结构。主体包括沿第二轴界定第一掩埋腔的底部部分和顶部部分，第一掩埋腔沿第二轴与压电结构对准，其中主体的顶部部分沿第二轴的最大厚度小于主体的底部部分沿第二轴的最小厚度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220766509 U (45)授权公告日 2024.04.12 (21)申请号 202321798138.1 B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 2023.07.10 (30)优先权数据 102022000014542 2022.07.11 IT 18/341,565 2023.06.26 US (73)专利权人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 M ·里亚尼　G ·加特瑞　 F ·韦尔切西　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 崔慧玲 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书18页 附图7页 (54)实用新型名称 MEMS设备 (57)摘要 本公开的实施例涉及MEMS设备。MEMS设备包 括：半导体主体，限定主腔，并且形成锚固结构； 以及第一可变形结构，沿第一轴具有彼此相对的 第一端和第二端，第一可变形结构经由第一端而 被固定到锚固结构，以被悬置在主腔之上。第二 端被配置为相对于锚固结构，沿第二轴振荡。第 一可变形结构包括具有第一外表面和第二外表 面的主体，以及在第一外表面之上延伸的压电结 构。主体包括沿第二轴界定第一掩埋腔的底部部 分和顶部部分，

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