致动器、流体控制装置和致动器的制造方法
- 申请专利号:CN202180022072.4
- 公开(公告)日:2024-04-02
- 公开(公告)号:CN115315320A
- 申请人:株式会社村田制作所
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115315320 A (43)申请公布日 2022.11.08 (21)申请号 202180022072.4 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 (22)申请日 2021.01.12 专利代理师 张丰桥 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2020-047131 2020.03.18 JP B06B 1/06 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 F04B 43/02 (2006.01) 2022.09.16 H01L 41/047 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 41/09 (2006.01) PCT/JP2021/000675 2021.01.12 H01L 41/29 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/186860 JA 2021.09.23 (71)申
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