大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112499130 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011632484.3 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 深圳市克洛诺斯科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街 道石岩宝石东路伟兴科技园A栋1层 (72)发明人 鲁男　杨光　谢燕敏　李爱姣　 纪贤强　刘陆　李智　 (74)专利代理机构 深圳市神州联合知识产权代 理事务所(普通合伙) 44324 代理人 王志强 (51)Int.Cl. B65G 25/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台 (57)摘要 本发明公开大幅面高效纳米级双台面交叉 运动平台。大幅面高效纳米级双台面交叉运动平 台大幅面高效纳米级双台面交叉运动平台包括 基座、安装于基座上的双Y轴机构、在双Y轴机构 上来回做直线运动的双Z轴机构。本发明采用双Z 轴机构，第一Z轴齿条和第二Z轴齿条与基座垂直 安装，行程可达到200mm以上，第一Y向直线电机 轴和第二Y向直线电机轴同时运行时，第一负载 示意和第二负载示意可上下和错开运行，避免第 一负载示意与第二负载示意发生碰撞，从而有效 减小第一Y向直线电机轴与第二Y向直线电机轴 之间的间距，进一步的减小了平台的整体宽度， A 大大的节省了空间。 0 3 1 9 9 4 2 1