金属氧化物膜形成性组合物、使用其的金属氧化物膜的制造方法、及使金属氧化物膜的体积收缩率降低的方法
- 申请专利号:CN202180085571.8
- 公开(公告)日:2023-08-15
- 公开(公告)号:CN116601108A
- 申请人:东京应化工业株式会社
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116601108 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202180085571.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2021.11.30 专利代理师 田川婷 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 2020-214869 2020.12.24 JP B82Y 30/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.16 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2021/043781 2021.11.30 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/138010 JA 2022.06.30 (71)申请人 东京应化工业株式会社 地址 日本神奈川县 (72)发明人 山内贤一 野田国宏 盐田大 权利要求书1页 说明书14页 (54)发明名称 金属氧化物膜形成性组合物、使用其的金属 氧化物膜的制造方法、及使金属氧化物膜的体积 收缩率降低的方法 (57